- 階差規是一種高度上有4個微小台階的量規，由5個高精度鋼製或者陶瓷量塊組成。
- 每個階差是由相鄰台階中心的高度差定義的，使用分辨力為0.01µm、測量精度公差為±0.20µm的干涉儀。
- 可選用鋼製型或陶瓷型。
- 高度差由相鄰台階的中心測得。
規格:
| Order No | Step Value between adjacent blocks | Material |
| 516-198 | 10,5,2,1µm | Steel |
| 516-199 | 300,100,50,,20µm | Steel |
| 516-498 | 10,5,2,1,µm | Ceramic |
| 516-499 | 300,100,50,20,µm | Ceramic |
