小形表面粗さ測定機の劇的な進化
- タッチパネル付き大形カラーグラフィックLCDを搭載し、直感的な操作と高い操作性を両立
- スキッドレス測定とスキッド付き測定を切り替えて行うことができ、測定の状況に合わせた最適の評価が行えます。
- ワイドレンジで高分解能の検出器と、高い真直度精度の駆動部によって、クラスを超えた高精度測定を実現しています。 ・検出器 測定範囲：800 µm 最小分解能：0.0001 µm（8 µmレンジ時） ・駆動部 真直度/駆動長さ：0.3 µm/25 mm（SJ-411） 真直度/駆動長さ：0.5 µm/50 mm（SJ-412）
- 表面粗さ評価のために収集した点群データを用いて、簡易的に輪郭形状解析 （段差、段差量、面積、座標差）も行えます。 輪郭形状測定機では評価できない微細な形状の評価になります。
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仕様
| Model No. | SJ-411 | SJ-412 | |||
| Order No. | mm | 178-580-11 | 178-580-12 | 178-582-11 | 178-582-12 |
| inch/mm | 178-581-11 | 178-581-12 | 178-583-11 | 178-583-12 | |
| Measuring range | X axis | 25 mm | 50 mm | ||
| Z axis (detector) | 800 µm, 80 µm, 8 µm Up to 2,400 µm when using an optional stylus. | ||||
| Detector | Detection method | Differential inductance | |||
| Resolution | 0.01 µm (800 µm range), 0.001 µm (80 µm range), 0.0001 µm (8 µm range) | ||||
| Stylus tip shape (Angle/Radius) | 60°/2 µm | 90°/5 µm | 60°/2 µm | 90°/5 µm | |
| Measuring force | 0.75 mN | 4 mN | 0.75 mN | 4 mN | |
| Radius of skid curvature | 40 mm | ||||
| Measuring methods | Skidless/Skidded (switchable) | ||||
| Drive unit (X axis | Measuring speed | 0.05, 0.1, 0.2, 0.5, 1.0 mm/s | |||
| Drive speed | 0.5, 1, 2, 5 mm/s | ||||
| Straightness | 0.3 µm/25 mm | 0.5 µm/50 mm | |||
| Up/down inclination unit | Vertical trave | 10 mm | |||
| Inclination adjustment angle | ±1.5° | ||||
| Applicable standards | JIS 1982/JIS 1994/JIS 2001/ISO 1997/ANSI/VDA | ||||
