『簡単・正確・スピーディ』な測定を実現する輪郭形状測定機です
- 測定操作に関するスイッチ類を本体前面に集中配置することで測定動線を大幅に短縮します。
- X軸位置決め時の粗微動送りも全測定範囲を電動ジョグシャトルにて楽々行えます。
- Z軸方向の測定高さまでのアプローチや 退避を軽い力で素早く、簡単に行える クイック上下 動スタンド （CV-2100M4のみ対応）を 新開発し搭載 しています。
- Z1軸（検出部）に新開発高精度円弧スケールを搭載しています。スタイラス先端の円弧軌道を直読することによって検出機構による誤差を小さくし、高精度・高分解能を実現しています。アナログ方式の様に測定倍率を切替えたり、倍率ごとに校正作業を行うことなく全測定範囲内で測定が可能です。
仕様
| Model No. | CV-2100M4 | CV-2100N4 | |
| Measuring range | X axis | 100 mm | |
| Z1 axis (detector unit) | 50 mm | ||
| Z2-axis (column) travel range | 350 mm | — | |
| X-axis inclination angle | ±45o | ||
| Resolution | X axis | 0.1 µm | |
| Z1 axis | 0.1 µm | ||
| Drive method | X axis | Motor (0-20 mm/s) | |
| Vertical travel (Z-axis column) | Manual (Quick-vertical-motion, fine) | — | |
| Measuring speed | 0.02, 0.05, 0.1, 0.2, 0.5, 1.0, 2.0, 5.0 mm/s | ||
| Straightness (when the X axis is horizontal) | 2.5 µm/100 mm | ||
| Accuracy (20 oC) | X axis | ±(2.5+0.02L) µm L= Measurement Length (mm) | |
| Z1 axis | ±(2.5+|0.1|) µm H= Measurement height from horizontal position within ±25 mm | ||
| Measuring direction | Both pulling and pushing directions | ||
| Measuring face direction | Downward direction | ||
| Measuring force | 30±10 mN (3 gf) | ||
| Traceable angle (using the standard stylus) | Ascent 77o, Descent 87o (according to surface property) | ||
| External dimensions (WxDxH) | 745 x 450 x 885 mm | 651 x 143 x 138.5 mm | |
| Mass | 145.8 kg | 5.8 kg | |
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