- 表面粗さと輪郭形状を一括測定可能な、高精度触針式CNC表面性状測定機です。
- X1軸の最大駆動速度は40 mm/s、（Y）、Z2軸の最大駆動速度は200 mm/s。高速位置決めができ複数断面測定や複数ワーク測定の高いスループット化が可能です。
- X1軸、Z1軸には高分解能リニアエンコーダを搭載し、X1軸、Z1軸共に高分解能を実現し、輪郭形状・表面粗さの一括測定に対応しています。
- Z1軸検出器にはアクティブ制御方式を採用し動的測定力の変動を抑えたワイドレンジ測定が可能です。
- Z1軸検出器には衝突安全装置が内蔵されていますので、万一検出器本体がワークや治具に干渉した場合でも自動停止します。
- CS-5000CNCシリーズは、X1軸を電動傾斜でき、水平面、斜面の連続測定が可能です。
- Y軸テーブル付きでは複数ワークの測定などY方向位置決めにより測定領域が拡大できます。
- PLC（プログラマブルロジックコントローラ）との双方向通信（RS-232C）による外部制御機能（Ext I/O）をオプションでご用意しております。
仕様
| Model No. | CS-5000CNC | CS-H5000CNC | ||
| X1 axis | Measuring | 200 mm | ||
| Resolution | 0.005 µm | |||
| Scale type | Transmission-type linear encoder | |||
| Drive speed | CNC mode | Max. 40 mm/s | ||
| Joystick mode | 0 to 40 mm/s | |||
| Measuring speed | 0.02, 0.05, 0.1, 0.2 mm/s (surface roughness), 0.02, 0.05, 0.1, 0.2, 0.5, 1.0, 2.0 mm/s (form/contour) | |||
| Measuring direction | Forward/backward | |||
| Straightness | (with standard stylus) | (0.1+0.0015L) µm L: traverse length (mm) | (0.05+0.0003L) µm L: traverse length (mm) | |
| (with 2X-long stylus) | (0.2+0.0015L) µm L: traverse length (mm) | (0.1+0.0015L) µm L: traverse length (mm) | ||
| Accuracy (20 oC) | ±(0.3+0.002L) µm L: traverse length (mm) | ±(0.16+0.001L) µm L: traverse length (mm) | ||
| α axis | Inclination range | -45o (CCW), +10o (CW) | — | |
| Z1 axis (Detector) | Measuring range | (with standard stylus) | 12 mm | |
| (with 2X-long stylus) | 24 mm | |||
| Resolution | (with standard stylus) | 0.0008 µm | ||
| (with 2X-long stylus) | 0.0016 µm | |||
| Vertical movement of the stylus | Arc motion | |||
| Scale type | Transmission-type linear encoder | |||
| Accuracy (20 oC) | ±(0.3+|0.02H|) µm H: probing height (mm) | ±(0.07+|0.02H|) µm H: probing height (mm) | ||
| Measuring force | (with standard stylus) | 4 mN (Fixed) | ||
| (with 2X-long stylus) | 0.75 mN (Fixed) | |||
| Traceable angle | Ascent: 60o, Descent: 60o, (Depends on the surface texture) | |||
| Stylus tip shape | Standard stylus | Tip angle: 40o, Tip radius: 5 µm, Diamond tip | ||
| Standard ball stylus | Tip ball radius: 0.25 mm, Sapphire | |||
| 2X-long stylus | Tip angle: 40o, Tip radius: 5 µm, Diamond tip | |||
| 2X-long stylus | — | Tip angle: 60o, Tip radius: 2 µm, Diamond tip | ||
| 2X-long ball stylus | Tip ball radius: 0.25 mm, Sapphire | |||
| Face of stylus | Download | |||
| Z2 axis (Column) | Travel range | Z2 axis (column, type S) | 300 mm | |
| Z2 axis (column, type H) | 500 mm | — | ||
| Resolution | 0.05 µm | |||
| Scale type | Reflective-type linear encoder | |||
| Drive speed | CNC mode | Max. 200 mm/s | ||
| Joystick mode | 0 to 50 mm/s | |||
| Base size (widthxdepth) | 750×600 mm | |||
| Base material | Gabbro | |||
