- 段差は段階状で、ブロックNo.1から5にかけて低くなっています。
- 隣接段差を光波干渉計にて測定しています(検査成績書には0.01 µm単位で記載)。また、隣接段差の許容値は±0.20 µm以内です。
- 用途に応じて、鋼製とセラミックス製で各2種類を準備しています。
- 隣接段差とは、隣合う測定ブロックの中央寸法の差になります。
仕様
Order No | Step Value between adjacent blocks | Material |
516-198 | 10,5,2,1µm | Steel |
516-199 | 300,100,50,,20µm | Steel |
516-498 | 10,5,2,1,µm | Ceramic |
516-499 | 300,100,50,20,µm | Ceramic |