LEGEX系列為初項0.28µm的高精度CNC三坐標測量機，對所有可能產生誤差的因素進行嚴格分析並消除或最大程度地降低其影響。
- 本體底座部分嚴選材料，採用密封結構以實現高剛性、高衰減性。採用FEM結構解析模擬進行徹底的應力分析，保證了幾何運動精度，使負荷及其它變量波動造成的誤差降至最小。此外，還引入了各種技術來實現超高精度，如驅動單元的結構和振動對策等。
- 用於位置檢測的長度測量單元配備了超高精度測量單元(自社開發)，該單元採用熱膨脹係數為≒0的超高精度微晶玻璃尺和高分辨力、高性能反射線性編碼器的組合，具有極高的位置檢測能力，可實現超高精度的機器控制功能。
- LEGEX高精度系列三坐標測量機配有溫度補償功能，因此設置環境不需要恆溫控制室，就可以在寬溫度範圍內保證主機精度。
- 提供豐富的選件，包括觸發式和非觸發式測頭，數據處理部等支持各種工件輕鬆實現高精度測量。
規格:
| Model | LEGEX 574 | LEGEX 774 | LEGEX 776 | LEGEX 9106 | |
| Measuring range | X axis | 500 mm | 700 mm | 700 mm | 900 mm |
| Y axis | 700 mm | 700 mm | 700 mm | 1000 mm | |
| Z axis | 450 mm | 450 mm | 600 mm | 600 mm | |
