高精度CNC影響測量系統ULTRA QV404 PRO，具有高水平的測量精度E1XY：(0.25+L/1000)µm。
- Y軸採用高剛性固定橋式移動工作台設計，X和Y軸導軌具有出色的耐磨性。底座採用具熱穩定性強的岩石平板。
- 採用膨脹係數幾乎為零的微晶玻璃材質，分辨率高達0.01µm的高精度光柵尺。通過“自吸型墊”，實現了Y軸的高剛性化，將滾珠絲槓浮動機構帶來的誤差控制在最小限度，並提高行駛速度。
規格:
| Model No. | ULTRA QV404 | |
| Measuring range (XxYxZ) | 400x400x200 mm | |
| Observation unit |
PT1X-2X-6X | |
| Imaging device | B&W CCD (1/2 inch) | |
| Accuracy (E1) | E1X, E1Y | (0.25+L/1000) µm |
| E1Z (Full stroke) | (1.5+2L/1000) µm (Range 200 mm) | |
| E1Z (50 mm stroke) | (1.0+2L/1000) µm (Range 10 to 60 mm) | |
| Accuracy (E2) | E2XY | (0.5+2L/1000) µm |
| Tracking auto focus device |
Optional | |
