- Các model mới nhỏ gọn của dòng máy đo tọa độ không tiếp xúc QV Active series 363 không chỉ giúp tiết kiệm không gian mà còn đáp ứng nhiều nhu cầu khác nhau với các chức năng nâng cao và vận hành dễ dàng, phù hợp với nhiều ứng dụng đo kiểm.
- Hai kích thước, 250x200mm và 400x400mm đáp ứng cho nhu cầu đo trên nhiều loại phôi khác nhau.
- Ống kính được thiết kế để đạt được tỷ lệ thu phóng tối đa là 14x, bao gồm phạm vi từ phép đo ở chế độ xem rộng với độ phóng đại thấp đến phép đo vi mô dưới độ phóng đại cao.
- Khả năng sử dụng được cải thiện bằng cách sử dụng camera màu có độ phân giải cao. Các hình ảnh có thể so sánh với các thiết bị quan sát như kính hiển vi.
Thông số kỹ thuật:
Model No. | QV-L202Z1L-D | QVT1-L202Z1L-D | QV-L404Z1L-D | QVT1-L404Z1L-D |
Order No. | 363-109 | 364-109 | 363-110 | 364-110 |
Measuring range (XxYxZ) | 250x200x150 mm (250x200x118: when Z-objective 1X is used) |
400x400x200 mm (400x400x168: when Z-objective 1X is used) |
||
Resolution | 0.1 µm | |||
Accuracy E1X, E1Y | (2+3L/1000) µm | |||
Accuracy E1Z | (3+5L/1000) µm | |||
Accuracy E2 | (2.5+4L/1000) µm |